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實驗室超純水機大致分為預處理、反滲透、超純化、終端超濾四個單元。自來水首先通過預處理單元，去除水中較大的顆粒、懸浮物以及部分有機物。然后進入反滲透單元，對水中的離子物質和大分子物質（如病毒、微生物等）進行截留性去除。之后再經過純化和超純化單元，對經過膜去除后殘余的微少離子進行純化和超純化，使水中的離子含量降低到痕量水平。zui后通過UV、超濾等技術確保超純水中的微生物、有機物和熱原滿足各類實驗應用需求。工業純水機由預處理系統、精處理系統、后處理系統三大部分組成。原水經石英砂單元、活性炭單元、軟水器單元等預處理系統后，使水中的懸浮物（顆粒物質）、膠體、有機物、硬度、微生物等雜質含量大大降低，以減輕后續的反滲透、電除鹽等精處理系統的處理負荷，延長其使用壽命。